Azot trifloridi (NF3) yuqori toza gaz
Asosiy ma'lumotlar
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Bu material nima?
Azot triflorid (NF3) xona haroratida va atmosfera bosimida rangsiz va hidsiz gazdir. O'rtacha bosim ostida suyultirilishi mumkin. NF3 normal sharoitda barqaror va oson parchalanmaydi. Biroq, u yuqori harorat ta'sirida yoki ma'lum katalizatorlar ishtirokida parchalanishi mumkin. NF3 atmosferaga chiqarilganda yuqori global isish potentsialiga (GWP) ega.
Ushbu materialni qayerda ishlatish kerak?
Elektron sanoatida tozalash vositasi: NF3 yarimo'tkazgichlar, plazma displey panellari (PDP) va boshqa elektron komponentlar sirtlaridan oksidlar kabi qoldiq ifloslantiruvchi moddalarni tozalash uchun tozalash vositasi sifatida keng qo'llaniladi. Bu sirtlarni zarar etkazmasdan samarali tozalashi mumkin.
Yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarishda qirqish gazi: NF3 yarimo'tkazgichlarni ishlab chiqarish jarayonida o'yuvchi gaz sifatida ishlatiladi. Bu, ayniqsa, integral mikrosxemalar ishlab chiqarishda ishlatiladigan keng tarqalgan materiallar bo'lgan kremniy dioksidi (SiO2) va kremniy nitridi (Si3N4) ni kesishda samarali.
Yuqori tozalikdagi ftor birikmalarini ishlab chiqarish: NF3 turli xil ftor o'z ichiga olgan birikmalarni ishlab chiqarish uchun qimmatli ftor manbai hisoblanadi. Ftoropolimerlar, ftoruglerodlar va maxsus kimyoviy moddalar ishlab chiqarishda kashshof sifatida ishlatiladi.
Yassi panelli displey ishlab chiqarishda plazma ishlab chiqarish: NF3 suyuq kristalli displeylar (LCD) va PDP kabi tekis panelli displeylarni ishlab chiqarishda plazma yaratish uchun boshqa gazlar bilan birga ishlatiladi. Plazma panelni ishlab chiqarishda cho'kish va qirqish jarayonlarida muhim ahamiyatga ega.
Shuni esda tutingki, ushbu material/mahsulotdan foydalanish uchun maxsus ilovalar va qoidalar mamlakat, sanoat va maqsadga qarab farq qilishi mumkin. Ushbu material/mahsulotni har qanday dasturda ishlatishdan oldin har doim xavfsizlik qoidalariga rioya qiling va mutaxassis bilan maslahatlashing.
